GEMStar 台式三维原子层沉积系统-ALD

台式三维原子层沉积系统-ALD是通过将气相前驱体脉冲交替的通入反应器，化学吸附在沉积衬底上并反应形成沉积膜的一种方法，是一种可以将物质以单原子膜形式逐层的镀在衬底表面的方法。因此，它是一种真正的“纳米”技术，以精确控制方式实现纳米级的超薄薄膜沉积。由于ALD利用的是饱和化学吸附的特性，因此可以确保对大面积、多空、管状、粉末或其他复杂形状基体的高保形的均匀沉积。

台式三维原子层沉积系统-ALD

应用领域

半导体 燃料电池

光子学 常规电池

MEMS 太阳能电池

催化剂 生物传感器

高能物理 工业涂覆加工

台式三维原子层沉积系统-ALD系统特点

* 300℃ 铝合金热壁，对流式温度控制

* 175℃温控150ml前驱体瓶，200℃温控输运支管

* 可容纳多片4，6，8英寸样品同时沉积

* 可容纳1.25英寸/32mm厚度的基体

* 标准CF-40接口

* 可安装原位测量或粉末沉积模块等选件

* 等离子体辅助ALD插件

* 多种配件可供选择

 Quantum 量子科学仪器贸易（北京）有限公司(暨Quantum Design中国子公司)是世界的科学仪器制造商——美国 Quantum Design 公司在*设立的诸多子公司之一。美国 Quantum Design 公司生产的 SQUID 磁学测量系统 (MPMS) 和材料综合物理性质测量系统 (PPMS) 已经成为*的*测量平台，广泛的分布于世界上几乎所有材料、物理、化学、纳米等研究领域*的实验室。同时美国 Quantum Design 公司还利用自己遍布世界的专业营销和售后队伍打造一个代理分销网络，与世界其他*的设备制造商合作，为其提供遍布的专业产品销售和售后服务网络，2007 年美国 Quantum Design 公司并购了欧洲较大的仪器分销商德国 LOT 公司，使得 Quantum Design 公司代理分销和售后网络变得更加完整和强大。