SCE-115 SCE等离子去胶机

我们的石英等离子去胶机气体暴露在电子区域时可以形成等离子体。由此产生的电离气体和释放的高能电子组成了气体等离子或离子。已电离的气体原子的动能相对较小，除非他们通过电场加速。加速时，他们会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子体效应的过程转换成材料的蚀刻工艺。活性气体在分子级上的使用也产生化学反应。

   我们致力于气体等离子处理，即让气体在常温下，无热相变下改变。这些气体可以是惰性的，也可以是起反应的。在反应性气体的情况下，利用动量转移处理以及气体反应的化学性质改变材料的特性。
石英圆柱体等离子系统Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104等离子去胶机
4" diameter x 8" long   
102毫米直径 x 203毫米长腔体
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106等离子去胶机
6" diameter x 8"long  
 152毫米直径x 203毫米长腔体
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108等离子去胶机
8" diameter x 8"long 
203毫米直径x203毫米长腔体
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D  660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110等离子去胶机
10" dia x 18" L long  
254毫米直径x 457毫米长腔体
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D  914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115等离子去胶机
15" dia x 18" L long  
381毫米直径x 457毫米长腔体   
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D   559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150等离子去胶机
10" dia x 18"L  2 4毫米直径x 457毫米长腔体
SCE 604等离子去胶机
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz   
4个腔体102毫米x203毫米直径石英腔体
控制系统Control System 
•    PLC - "Touch-Panel" operation 
PLC触摸面板操作
•    Digital count down timer (hrs, min, sec) 
数字倒计时定时器（小时，分，秒）
•    Digital On-Screen vacuum display 
数码屏幕真空显示器
•    Gas flow with needle valve control 
气体流量针形阀控制
•    Manual tuning standard 
手动校准标准
•    Optional: Automatic RF tuning for load match
•    可选的：自动射频调整与负载匹配
反应腔体Reactor Chamber
•    4" diameter x 8" long quartz chamber 
•    4英寸直径x8英寸长的石英舱体
•    RF shielded 
•    射频屏蔽
•    Front load
•    前负荷
尺寸Dimensions
•    26" H x 23" W x 30" D 
•    26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
•    275 lbs Crated weight
•    275磅包装重量。
射频功率源RF Power Source
•    0-150 Watt RF 13.56 MHz supply 
•    0-150 W射频13.56兆赫兹供应 
•    Forward and reflected power readings 
•    正向和反射功率读数
•    Low frequency optional
•    低频选项
真空系统Vacuum System
•    3.8 CFM Standard service pump 
•    3.8 CFM 标准的服务泵
•    1 Phase 50/60 120/208 VAC 
•    1 相 50/60 120/208 VAC
•    Package with all interconnecting hardware 
•    包装包含所有相关硬件
•    选项Optional
•    Oxygen service. Class "B" Preparation     
•    氧气服务，B类备选