技术规格参数
型号	XTY-AE-100M
移动台（mm）	平台尺寸100100 ，行程1313
物镜放大倍率		10X	20X	50X
观察与量测范围		0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光学分辨力（um）		0.9	0.69	0.5
收光角度（Degrees）		17	23	33
工作距离		7.4	4.7	3.4
传感器分辨率	640*480像素
机台重量（kg）/载重kg	20kg/小于1kg
Z轴移动范围	45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器	分辨率1um
倾斜调整平台	双轴/手动调整
	高度测量
测量范围	100（um）（400um ,选配）
量测分辨力	0.1mm
重复精度	≤ 0.1％（量测高度:>10um） ≤10um（量测高度1um 10um） ≤ 5nm（量测高度:<1um ）
量测控制	自动
扫描速度（um/s）	12（zui高）
	光源
光源类型	仪器用卤素（冷）光源
平均使用寿命	1000小时100W 500小时（150W）
光强度调整	自动/手动
	数据处理与显示用计算器
*处理运算屏幕	双核心以上CUP
影像与数据显示屏幕	17 " 双晶屏幕
操作系统	Windows XP（2）
电源与环境要求	AC100 --240 V 50-60Hz
环境震动	VC-C等级以上
	量测与分析软件
量测软件	ImScan量测软件具VSI/ PVS/PSI 量测模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配） PosTopo 分析软件
分析软件	ISO 粗燥度/阶高分析，快速传利业转换和滤波，多样的2D和3D 观测视角圆，外形/面积/体积分析，圆像缩放、标准影像文件格式转换报表输出，程序教导量测等。