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扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。如今，扫描电子显微镜在冶金、矿物、半导体材料、生物医学、物理、化学等多个领域得到了广泛应用。
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