日立新推出的后续机型----SU8010继承了S-4800的优点，性能有进一步提高，1kv使用减速功能后，分辨率提升到1.3nm，相对于S-4800可以在更低的加速电压下呈高分辨像，明显提升了以往很难观测的低原子序数样品的观测效果。
　　
　　要把扫描电子显微镜使用好，日常的保养和维护非常重要。日常保养和维护的目的是大限度消除扫描电镜的干扰因素，使得扫描电镜工作处于佳状态，获得良好的图像质量和分析结果，同时通过日常维护保养能够及早发现和解决潜在问题。