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飞行时间二次离子质谱法

2019年12月11日 14:37人气：357 来源: 北京瑞利祥合技术发展有限公司 >> 进入该公司展台

　　Time of Flight Secondary Ion MassSpectrometry :TOF-SIMS

　　原理

　　超真空环境下向样品射入1次离子束，从样品的浅表层(1~3nm)释放出2次离子。将2次离子导入飞行时间(TOF型)质谱仪，就可以获得样品表层的质谱。此时，再通过调低1次离子的照射量，检测保留了表面成分化学结构的分子离子和部分碎片离子，就可以获取表层的元素构成和化学结构的信息。

飞行时间(TOF型)质谱仪

　　由于脉冲后1次离子的照射而产生的2次离子在一定能量下被加速，根据质量不同以不同速度(轻离子高速，重离子低速)进入质谱仪。达到检测器的时间(飞行时间)与质量有着函数关系，通过精密测定此飞行时间的分布可以获取质谱。

------ 责任编辑：瑞利祥合--分析仪器采购顾问

（本文来源：北京瑞利祥合技术发展有限公司，转载请注明出处）

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