您所在的位置：> 仪器网 > 技术中心 > 解决方案 > 扫描电镜低加速电压成像

扫描电镜低加速电压成像

2019年11月07日 15:35人气：734 来源: 复纳科学仪器（上海）有限公司 >> 进入该公司展台

　　扫描电镜的加速电压与束流强度对成像有着决定性的影响。

　　通常来说，操作人员更愿意使用更高的加速电压去成像，当加速电压较大时，信噪比更好，分辨率更高，更容易得到“清晰”的图像。但低加速电压却是当今扫描电镜的发展趋势，这是什么原因呢？今天，这篇文章将围绕“低加速电压成像”展开讨论。

　　电子束与样品相互作用将会激发出多种电子信号，包括背散射电子(BSE)、二次电子(SE)等。二次电子(SE)主要表征样品的表面形貌信息，激发深度一般低于 10nm，主要表征样品的表面形貌信息。

　　当使用较高加速电压去观测样品，二次电子来自样品表面 5~10nm 范围，表层的形貌被削弱，甚至掩盖；而用低加速电压观测样品时，由于入射电子束与样品的相互作用小，信号更多来源于材料的表面，加速电压越低，观测的形貌效果越接近表层，且低加速电压对样品的损伤也较小。

　　现在，通过几组照片，让大家更好地理解低加速电压成像的优势：

　　样品为金项链在不同加速电压(5kV 与 15kV)下的扫描电镜图像，当加速电压为 5kV 时，金项链的孔洞、裂纹等缺陷得以体现，具有更多的表面细节，而加速电压为 15kV 时，表面更为平整。

　　石墨颗粒在不同加速电压(5kV、10kV、15kV)下的三张照片：5kV 时的束流穿透是弱的，展示了多的结构信息，具有更好的形貌衬度。

　　陶瓷在不同加速电压(5kV、15kV)下的两张照片：加速电压为 5kV 时，可以看到烧结陶瓷的缺陷。

　　样品是泡沫聚苯乙烯在不同加速电压(5kV、15kV)下的两张照片，对于轻元素样品(高分子材料等)，低加速电压可以减少对样品的损伤。

（本文来源：复纳科学仪器（上海）有限公司，转载请注明出处）

关注本网官方微信随时阅专业资讯

全年征稿 / 资讯合作

联系邮箱：970297226@qq.com

凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载请必须注明仪器网，。违反者本网将追究相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。