国内某 OLED 镀膜机厂家配置伯东美国 HVA 真空阀门 11000 系列,尺寸以 4”, 6”, 8”阀门口径为主的标准不锈钢气动高真空闸阀,
 
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质:  | |
- 阀门主体  | 304 不锈钢  | 
- 焊接波纹管轴封  | AM - 350  | 
阀门密封方式  | |
- 高真空  | 氟橡胶  | 
- 超高真空  | 铜垫圈 / 氟橡胶  | 
真空:  | |
- 压力范围  | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar  | 
- 漏率  | < 2x10-9 mbar l/S  | 
- 差压关闭  | 1 bar ( 任意位置 )  | 
- 开启前压力  | ≤ 30 mbar  | 
烘烤温度(不含电磁阀):  | |
- 弹性体密封阀盖  | 150°C  | 
- 金属密封阀盖  | -开启温度:200°C -关闭值:150°C  | 
- 驱动方式  | 手动 60 °c, 气动 60 °c  | 
机制  | |
手动:  | 手摇曲柄  | 
电磁阀供电电压  | 120 VAC 50 /60 Hz  | 
电磁阀可选电压  |  24, 200, 240 VAC 50/60 Hz  | 
电磁阀位置指示器  |  115 VAC  | 
气动送风:  | 80 psig  | 
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)  | |
公称通径: DN 16 - 800 mm  | |
下图是某 OLED 镀膜机厂家配置上海伯东美国 HVA 高真空阀门

OLED 镀膜机主要面向有机半导体照明客户, 需要镀膜机性能更稳定, 器件效率更高, 性价比高,
对于生产 OLED 镀膜机的客户, 为了节省抽空时间和防止基片的污染, 会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样, 由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加高真空阀门来隔离系统.
伯东美国 HVA 真空阀门已广泛应用于 OLED 镀膜机
 
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生
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中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE)
展会城市:北京市展会时间:2026-05-29