某半导体工厂在生产线上气体输送环节的气体管路系统采用伯东 HVA 不锈钢真空闸阀 11000 ,作为真空隔离密封.
 
HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列标准技术规格:
阀门材质:  | |
- 阀门主体  | 304 不锈钢  | 
- 焊接波纹管轴封  | AM - 350  | 
阀门密封方式  | |
- 高真空  | 氟橡胶  | 
- 超高真空  | 铜垫圈 / 氟橡胶  | 
真空:  | |
- 压力范围  | 高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar  | 
- 漏率  | < 2x10-9 mbar l/S  | 
- 差压关闭  | 1 bar ( 任意位置 )  | 
- 开启前压力  | ≤ 30 mbar  | 
烘烤温度(不含电磁阀):  | |
- 弹性体密封阀盖  | 150°C  | 
- 金属密封阀盖  | -开启温度:200°C -关闭值:150°C  | 
- 驱动方式  | 手动 60 °c, 气动 60 °c  | 
机制  | |
手动:  | 手摇曲柄  | 
电磁阀供电电压  | 120 VAC 50 /60 Hz  | 
电磁阀可选电压  |  24, 200, 240 VAC 50/60 Hz  | 
电磁阀位置指示器  |  115 VAC  | 
气动送风:  | 80 psig  | 
使用寿命: 100,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定)  | |
公称通径: DN 16 - 800 mm  | |
HVA 是真空技术创新者的真空阀门(插板阀), 是高真空阀门的主要制造商和供应商.
在设计真空系统时, 可以轻松集成 HVA 阀门. HVA 闸阀从5/8英寸(16毫米)到32英寸(800毫米), 而矩形/狭缝阀的距离为80英寸(2m), 可以满足您的真空阀门(插板阀)要求. 无论您是升级现有的真空系统还是 OEM 设计新的系统, HVA 都可以提供经济高效的替代阀门解决方案.
HVA 真空阀门(插板阀)的阀体和所有主要内部组件都是内部钎焊的真空炉, 消除了虚拟泄漏的可能性, 阀体变形最小化.
40多年来, HVA 一直在建造业内质量高, 设计好的真空阀门(插板阀). HVA 代表着质量, 工程, 定制和服务.
若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :
上海伯东 : 罗先生
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中国国际科学仪器及实验室装备展览会(CISILE)
展会城市:北京市展会时间:2026-05-29