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TC Wafer热电偶晶圆热电偶温度传感器半导体热电偶

2023年03月09日 13:50人气：358 来源: 上海智与懋检测仪器设备有限公司 >> 进入该公司展台

随着航空航天、汽车电子、**、光伏、工业自动化等许多领域技术的不断发展，芯片在各种**温度环境下的应用也越来越广泛。作为晶圆测试中的关键设备，探针台的运作原理在于通过其探针与被测器件上的 PAD 点精确对位，以实现测试机输出激励信号的互通与信号反馈，最终获取和采集测试数据。高低温真空探针台可以很好的满足极低温测试和高温无氧化测设。在整个测试过程中，工程师们追求以最短的时间获得可靠的测试数据

TcWafer热电偶则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器，可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器，可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布；同时，也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化，例如：升温，降温过程及延迟周期等！（温度的均匀与否，良率）

技术指标

名称	Wafer-TC晶圆热电偶温度传感器
温度范围	-50-700
工艺	低温：-150-700℃硅基胶粘剂高温：-150-1200℃焊接设计
传感器引线	可定制
绝缘材料	石英，Teflon，二氧化硅，陶瓷，PA

·应用场景

1. 半导体制造厂 Fab，硅片厂，晶圆制造厂

2. 封装测试厂

3. PVD/CVD/RTP/Photo/Furnace/Hot Plate…

4. 半导体设备制造商

5. 高温工艺设备腔体温度的监控

·我们的优势

精度高、交期短、服务响应快。

· 半导体制造厂 Fab，PVD/CVD 部门、RTP 部门等使用

· 传感器可以定制

· 高精度多通道数据采集仪

· 优异的软件功能，方便数据统计、趋势绘图和数据导出

（本文来源：上海智与懋检测仪器设备有限公司，转载请注明出处）

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