温湿度监测在半导体行业洁净室中的问题及解决方案

       洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定的。在满足工艺要求的条件下，应考虑人的喜好。不同行业的洁净室都有不同的温湿度控制范围，对监测仪器也有不同的要求。本章将从半导体行业来探讨洁净室的温湿度方案。

　　面板显示、微机电、晶圆、芯片等高精尖要求的半导体行业加工精度越精细，对温湿度波动的范围要求越小。如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1℃，就会引起0.24um线性膨胀。在这样的情境下，温度需要准确控制，避免影响产品的质量。

　　半导体洁净室温湿度影响简述:

　　洁净室内温度的影响主要是从产品精度，合格率以及污染的角度（温度升高后，会引起人出汗，汗水会对产品产生污染，特别是怕钠的半导体车间）来考虑的。越精细、集成度高的电子加工，对温度的敏感性越大。

　　湿度太高会使物体表面的灰尘难以清除，但是相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于物体表面，静电会使半导体器件发生击穿。

　　按照半导体生产工艺的特点，洁净室一般温度控制在20-25℃，湿度控制在50-60%RH，这个范围不但满足了生产工艺的要求，而且人在这样的环境下也感到舒服。

　　罗卓尼克温湿度监测:

　　罗卓尼克温湿度变送器凭借其准确、稳定、易用等的特性赢得了半导体客户的青睐。无锡徽科特服务的半导体客户不断增多，如维信诺、惠科光电，厦门天马等，他们对温湿度的控制都很严格，罗卓尼克的HF1，HF5成为了他们选择的明星款产品。这两款变送器很好的满足了客户对仪器高精度、长期稳定、带显示和分析仪在线校准功能，可以为生产运营提供关键控制和监测数据的需求。

　　HF1温湿度变送器:

　　HF1系列是测量相对湿度和温度的经济款变送器，性价比高。可选SW21软件进行变更量程并对变送器进行校准和标定。

　　•23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升级版）

　　•测量范围：0至100%RH/-20℃至60℃

　　•体积小巧，容易安装

　　•USB接口

　　•工厂校准35%RH，80%RH

　　•提供OEM定制型号和精度

　　HF5温湿度变送器:

　　HF5系列变送器可配合所有带AirChip芯片的HC2探头使用。由于探头的高精度，HF5系列变送器能够完成高精度的测量。其探头更换简单轻松，自带实体按钮可现场轻松校准，屏幕背光可调节。

　　•精度：10℃至30℃时，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度）

　　•测量范围：-50至100℃/0至100%RH（常用范围）

　　•数字输出，可以与模拟量输出结合使用

　　•可以提供多种湿度学参数输出

　　•HF5软件任意点校准，保持更稳定、准确的精度

　　•可以作为系统验证模拟器使用

　　•可选防爆款

　　•提供OEM定制型号，可选其他探头