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简介:FIG05离子源不但具有zui小150微米束斑和zui高5keV能量,可以用于深度剖析和ISS。而且FIG05还可以提供*束流的能量小于10eV的低能离子,适用于需要正离子的双束电荷中和。
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简介:SE5离子源是一款设计紧凑、使用灵活的冷阴极离子源,zui大束流超过45微安,能量范围从300eV直到5keV。对于低能离子具有*的束流,使ISE5适于敏感材料的轰击清洁。
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