VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪

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公司名称 合肥科晶材料技术有限公司
品牌
型号 VTC-16-3HD
所在地 合肥市
厂商性质 生产厂家
更新时间 2017/1/5 16:23:18
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模内浇口分离自动化，降低对人的依赖度；传统的塑胶模具开模后产品与浇口相连，需二道工序进行人工剪切分离，模内热切模具将浇口分离提前至开模前，消除后续工序，有利于生产自动化，降低对人的依赖。

产品简介

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VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），基片zui大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.

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VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型)，基片zui大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.

技术参数

输入功率	110V / 220V 通用 < 2000W (含真空泵)
输出功率	1600VDC zui大电流50mA
样品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
样品台	一个外径50 mm 的样品台, 基片可以放在样品台上，可以移动三个位置可选购加热型样品台（zui高温度可到500℃） zui长溅射时间不可超过5分钟
控制面板	控制面板为PLC，4.3" 触摸屏一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置和基片加热温度
真空泵（选配）	VRD-8 120L/M旋片式真空泵（选配） KF25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接各种高纯度金属靶需要一个带压力调节器的氩气瓶（这个我们不提供）
进气口	一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
靶材	要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm 经试验证明此款仪器可溅射的靶材：Au、Ag、Pt、Cr和Ni 不可溅射靶材：氧化物、半导体、一些轻金属、Al、Zn、C等可在本公司选购靶材,具体请点击链接
外形尺寸	360mm × 350mm × 360mm (L×W×H) 净重:50KG
质保期	一年质保期，相关耗材除外，终身维护。
质量认证	Certified