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FIG 05离子源

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  FIG 05离子源不但具有zui小150微米束斑和zui高5keV能量,可以用于深度剖析和ISS。而且FIG 05还可以提供*束流的能量小于10 eV的低能离子,适用于需要正离子的双束电荷中和。

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  FIG 05离子源不但具有zui小150微米束斑和zui高5keV能量,可以用于深度剖析和ISS。而且FIG 05还可以提供*束流的能量小于10 eV的低能离子,适用于需要正离子的双束电荷中和。


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