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郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

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KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面,具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及自动电动样品挡板功能。
郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

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郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面,具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及自动电动样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属(金,银,铜,铬,镍等)和有机物进行均匀蒸发沉积。真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

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郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

三:主要技术要求

1.    控制方式:7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

2.    加热方式:数字式功率调整器

3.    镀膜功能:0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

4.    功率:≤1200W

5.    输出电压电流:电压≤12V  电流≤120A

6.    真空度:机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

7.    挡板类型:电控

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8.    真空腔室:石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

9.    样品台:可旋转φ62  可安装φ50基底)

10.  样品台转速:8/分钟

11.  样品蒸发源调节距离:70-140mm

12.  蒸发温度调节:≤1800

13.  支持蒸发坩埚类型: 钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  陶瓷坩埚   石英石坩埚

14.  预留真空接口:KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口  6mm卡套进气口

郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪


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