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美国NIST SRM 2000高分辨率X射线衍射标准品

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美国NIST SRM 2000高分辨率X射线衍射标准品为高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 社区提供了国际单位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射间距、表面到晶面晶片我们的参考波长在反射中的误切和表面到硅 (004) 布拉格角。

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美国NIST SRM 2000高分辨率X射线衍射标准品为高分辨率 X 射线衍射 (HRXRD) 社区提供了国际单位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射间距、表面到晶面晶片我们的参考波长在反射中的误切和表面到硅 (004) 布拉格角。 SRM 2000 的一个单元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 双抛光 (100) 取向的单晶硅样品组成,具有标称 50 nm Si0.85Ge0.15 外延层和 25 nm 硅帽。



储存和搬运:

外延层可能损坏或晶片机械拉力,因此应避免与SRM前表面接触。若要清除表面污染,请使用过滤后的氮气。


峰型:测量到的衍射峰明显不对称。辅助测量表明,这种不对称可能不*是由于仪器效应,而是由于SRM 2000原料油的特性。因此,采用分离式Pearson Vll剖面来拟合和估计峰值位置,并被推荐用于确定峰值位置以进行校准。由于不对称对轮廓位置确定的不同影响,使用另一个剖面函数可能导致不系统的偏差。



使用

建议使用在Si(220)传输中测量的d间距:通过直接使用经认证的d间距校准,dsRM需要一种能够测量传输几何形状的仪器。如果这是可能的,人们可以校准仪器的单色仪的波长,齐姆特,或角度测量附近的Si(220)反射(透射几何),Δθinst。下面的过程为此校准提供了一种方法(见表3中的扫描范围)。个别仪器制造商可能会有其他的建议程序。



美国NIST SRM 2000高分辨率X射线衍射标准品这些认证值可用于校准 HRXRD 仪器。


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