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sj6000激光干涉仪器

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SJ6000sj6000激光干涉仪器以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,是高精度、高灵敏度测量仪器,广泛应用于机床、机器人、3D打印设备、精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。

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激光干涉仪主要用途是测量目标的运动状态,即目标的线性位移大小、直线度、垂直度、旋转角度(滚转、俯仰和偏摆)、两个目标在运动的平行性(度)、平面度等。不管是数控机床的导轨还是光刻机的机台,不管是飞行物还是京植物的变形、热膨胀,都要用到高精度激光干涉仪的测量,得到目标的运动状态。如精密机械设备、各类机床、三坐标测量机、机器人、线性位移平台、3D打印设备、自动化设备、精密检测仪器等领域的线性测量。

中图仪器

sj6000激光干涉仪器的主要的应用之一就是机床精度检测。可以通过与不同的光学组件结合,对数控机床进行动态性能检测,如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量。其线性定位测量的精度是0.5ppm,可以满足现在所有类型数控机床精度检测,它可以弃普通车间进行应用,具有更强的环境适应能力,同时可进行动态高速测量,配以相应元件后还可以测量角度、线速度、平面度、振动幅度及速度等。


SJ6000激光干涉仪搭配不同的镜组还可以实现机床定位精度、重复定位精度、直线度、平行度、垂直度、偏摆角度等几何精度测量。


应用:检测五轴机床旋转轴精度

测量系统:激光头+角度干涉镜+角度反射镜


旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上,该组件可以绕中心自身旋转。在测量时,待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后,转台组件会沿着其逆方向精确地旋转该角度,例如待测轴沿正方向旋转15°,由于误差的存在,则可能旋转(15+ Δ)°;此时,转台组件会沿着逆方向精确旋转,即沿负方向精确旋转 15°,这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差 Δ就是旋转轴的定位误差。


产品特点

SJ6000激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体:

采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率;

采用进口高性能氦氖激光器,其寿命可达50000小时;

采用高精度环境补偿模块,可实现激光波长和材料的自动补偿;

采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干rao能力强、长期稳定性好的激光频率输出;

采用高性能计算机控制系统及软件技术,支持中文、英文和俄文语言,友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。


SJ6000

sj6000激光干涉仪器以光波为载体,其光波波长可以直接对米进行定义,是高精度、高灵敏度测量仪器,广泛应用于机床、机器人、3D打印设备、精密机械设备、精密检测仪器、三坐标、自动化设备、线性位移平台等领域的线性测量。




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