SJ6000 激光干涉无损检测仪

SJ6000激光干涉无损检测仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的定位精度测量、误差修正和控制。激光干涉仪的特点是在具有强大的排除干rao能力的情况下还具有非常高的精度，其分辨率可以达到纳米级,从而可以大大提高制造领域的制造精度。

激光干涉仪是一个交流测试系统，当激光光束强度受环境影响发生变化时，其频率不会受光强变化影响发生变化，也不会因电平变化造成干涉信号的频率改变。因此，它的抗扰力强，精度高，测量结果可靠，在精度高要求的芯片光刻机、计量检测和前沿科研领域得到广泛应用。

与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据。中图仪器SJ6000激光干涉无损检测仪在测量精度、测量速度、测量类型等方面选择上，给用户提供了更多选择。

应用

数控机床的传动机构一般是滚珠丝杆副，滚珠丝杆副在生产制造和装配过程中都存在一定误差，且长期使用造成的磨损等因素都会使其精度下降，当前有效且广泛应用的方法是利用激光干涉仪对数控机床进行螺距误差补偿。

对数控机床进行螺距误差补偿

SJ6000激光干涉无损检测仪可用于精密机床、大规模集成电路加工设备等的定位精度测量、误差修正和控制。激光干涉仪的特点是在具有强大的排除干rao能力的情况下还具有非常高的精度，其分辨率可以达到纳米级,从而可以大大提高制造领域的制造精度。

与不同光学附件结合，SJ6000激光干涉仪可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构，安装位置灵活，便于分析机床误差来源；而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据，更接近机床的实际使用状态。位置精度是机床的重要指标，目前各国机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪。因此，可以说用激光干涉仪检测机床各项误差是一种用传统测量手段难以实现的技术。