SPV-5 等离子体清洗机 Plasma表面活化改性蚀刻

等离子体清洗机 Plasma表面活化改性蚀刻称为等离子表面处理设备，或者称为等离子表面活化设备，通过激励电源产生等离子体，等离子作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

概述（Summary）

等离子清洗机(Plasma cleaner)，也称为等离子表面处理设备，或者称为等离子表面活化设备，通过激励电源产生等离子体，等离子作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

等离子体清洗机 Plasma表面活化改性蚀刻适用于企业产品批量生产，其腔体容量大，可设计性更强，可满足对大部分产品表面处理需求。优点：机架紧凑，性能全面，处理效果均匀稳定，而且配置灵活，性价比高。

二·应用（Application）

等离子清洗广泛应用于胶粘、焊接、印刷、涂覆、镀膜等等场合，通过等离子体作用于产品表面，去除产品表面的有机污染物，提高产品表面活性，以及激活表面性能，能明显改善产品后续工艺的胶粘、焊接、印刷、涂覆、镀膜的附着力和良品率。已经成为中产品表面性能处理的重要工具。

（1）LED（LED在焊线时表面附着力往往是很低的，如不对表面做处理会存在焊线不牢等现象，所以焊线前需做等离子处理，提高产品的附着力，避免焊线不牢、易掉等问题）

（2）触摸屏（触摸屏油墨面需要与其他部件进行贴合、触摸面则需要进行，镀膜面、油墨面处理，提高油墨面、镀膜面贴合力，避免贴补不牢，镀层易磨损易掉等问题）

（3）金属（部分金属制品表面需镀金银层，金属表面未经过处理表面贴合力不够，导致镀层不牢、不均匀等现象，等离子处理可增加金属表面附着力、提高表面均匀性，避免镀层不均匀、易脱落等问题）

（4）摄像头模组（摄像头模组需要进行贴合、密封，等离子能对其表面进行有效的活化提高表面贴合力）

（5）FPC（FPC表面也会存在焊接不牢的现象，等离处理可提高其表面附着力，增加FPC本身的贴合力）

（6）医用硅胶（用于医用的硅胶需要具备适当的附着力，既能很好的贴敷在皮肤表面又不会因为附着力太强而导致与皮肤贴敷太紧，所以需要处理控制性能比较强的表面处理设备，真空等离子具备*的可控制性，处理效果稳定，极为环保的处理方式无疑是最佳的选择）

（7）隐形眼镜（隐形眼镜表面需要做比较精密的镀膜处理，如果表面处理不得当会导致用户体验不佳直接影响产品的品质，所以对表面处理及镀膜工艺要求非常苛刻）

（8）尼龙材料（部分尼龙材料表面需要做贴合点胶工艺，但尼龙材料本身的附着力并不是很理想，所以在进行贴合或点胶前需先对材料表面做活化处理才能达到贴合/点胶的工艺要求）

三·等离子清洗原理（Principle）

1、等离子清洗的原理：对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，达到对材料表面清洗、蚀刻、活化等效果。等离子体清洗机 Plasma表面活化改性蚀刻

（1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用：

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

（2）激活键能--交联作用：

等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。

（3）形成新的官能团--化学作用：

如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。

2、真空等离子设备原理：等离子清洗机的结构主要分为四大部分组成：控制系统、激励电源系统、真空腔体、工艺气体系统、以及真空泵系统。

（1）控制系统：

控制系统的功能在于控制整个设备的运行，包括人机界面（触摸屏）、PLC、电气电路。采用全自动控制系统的真空等离子清洗，可实现多种模式多种程序对清洗设备进行控制，满足不同客户的需求。

（2）激励电源系统：

激励电源主要有三类：40KHz的中频激励电源，13.56MHz的射频激励电源，2.45GHz的微波激励电源。目前业界主要采用的是射频激励电源和中频激励电源。各自应用场合不同。

（3）真空腔体：

真空腔体主要是分为三种材质的：1）铝合金腔体，2）不锈钢真空腔体，3）石英腔体。根据用户的不同需求，可实现不同的放电模式和适用不同的样品尺寸和产能。

（4）工艺气体系统：

工艺气体包括流量计、气压阀等，用户可灵活选择多路的工艺气体方案，氩气、氧气、氢气、氮气、四氟化碳等，可满足不同工艺方案要求。清洗各种产品表面。

（5）真空泵：

真空泵分为油泵、干泵、罗茨泵，油泵主要采用双级旋片泵，根据用户所采用的腔体体积、工作效率、环境要求来制定真空泵的方案。