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OT-1200X-IR-ISL是一款双温区红外加热快速热处理炉，其炉管直径为4英寸，样品台滑轨周围嵌有可伸缩波纹管，允许样品在真空或气氛保护环境下移动。此款设备可使样品升温速率达到50℃/S，冷却速率达到10℃/S此款设备不仅可对样品进行快速热处理，还可采用HPCVD方法来生长二维晶体（一个加热区用来盛放固体蒸发原料，另一个加热区用于沉积样品）。
技术参数
| 炉体结构 | 双层壳体结构，并带有风冷系统，使壳体表面温度低于60℃采用短波红外灯管对样品加热，可 达到快速加热的效果两个加热区，每个加热区长度为195mn，总加热区长度为390mm 样品台滑轨周围嵌有可伸缩波纹管，允许样品在真空或气氛保护环境下移动，以达到快速加热和快速降温的效果 |
| 电压 | AC380V,50/60Hz 功率为24KW |
| 加热元件 | 16根卤素灯管（直径10mm，长度390mm）标准使用寿命2000小时（要根据加热速率） |
| 工作温度 | 1100℃ (<30 mins) 1000℃（可连续工作） |
| 控温精度 | +/-1℃ |
| 加热速率 | 50℃/min |
| 冷却速率 | 10℃/min，冷却温度范围1000~200℃ |
| 炉管 | 高纯石英管 尺寸∶垂110（OD）×重106（ID）×740（L）mm |
| 滑轨 | 材料碳钢表面镀Cr 滑动行程∶400mm |
| 热电偶 | 两个K型镜装热偶规格∶1/4"Dia x 24"L |
| 温控系统 | 两个温区分别由两个独立的温控系统控制采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序设置有超温和断偶保护控温精度为± 1℃ 设备面板上带有RS485通 讯接口 可选购PC控制模块，可采用电脑来设置和显示温度曲线 |
| 真空法兰 | 卡箍式快速连接法兰安装在炉管两端，以方便拆卸和安装 一个直径1/4"的铠装K型热偶通过左端法兰伸入到炉管内部的样品台下端右端法兰上带有KF25接口，以便于连接真空泵 左端法兰上安装有滑轨，周围嵌有可伸缩波纹管，允许样品在真空或气氛保护环境下移动 |
| 真空度 | 10^-2 torr（采用机械泵） 10~-4 torr （采用分子泵）可在本公司选购各种真空泵 |
| 尺寸 | 1000mm × 540mm× 800mm |
| 质保 | 一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈） |
| 质量认证 | CE认证 所有电器元件（>24V）都通过UL /MET /CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证 . |
| 使用注意事项 | 炉管采用石英管，其只能在常压或低压环境使用，炉管内部压力需φ0.02MPa（相对气压）若要向炉管内通入气体，气瓶上必须安装双极减压阀（可在本公司选购）进气流量必须小于200SCCM<或200ml/nin） 若炉管内部处于真空环境，其设备使用温度不可高于1000℃ |
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