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M2 测量仪

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M2 测量仪

M2Beam M2因子测量仪

l 测量激光束M2值、束腰大小、位置、功率和光强分布

l 优越的软件控制

l 能够显示沿主轴传输的3D光束尺寸图像

性能参数:

参数

数值

光谱范围

Si

InGaAs

UV

400-1100nm

800-1800nm

190-1100nm

光束功率范围

Si

InGaAs

UV

100µW-1W

100µW-1mW

100µW-1mW

刀片数量

7

光束大小(D

15mm(有透镜,)

7mm(无透镜,Si& UV)

3mm/5mm(无透镜,InGaAs)

大发散角

10mrad(无透镜)

束腰到透镜距离

2.0-2.5m

尺寸

100x173x415mm

机械调节

水平角度:±1.5°

垂直角度:±1.5°

FocusGage光束发散测量仪

整个系统包括安装在一个扫描束腰附件上的测量探头和一个独立的控制单元(有两个LCD显示操作按钮)。一个外部的VGA显示屏可以和控制单元连接,给出充分的图像显示。这个单元带一个RS232接口与另一台计算机通讯,以及一个FDD数据存储器。

l 测量激光束发散角、束腰大小、束腰位置、数值孔径

l 测量激光焦点位置、测量

l 波长小可达190nm,大可达1800nm

性能参数:

光谱范围

Si

InGaAs

UV

400-1100nm

800-1800nm

190-1100nm

光束功率范围

Si

InGaAs

UV

100µW-1W(自带衰减片)

100µW-1mW(自带衰减片)

100µW-1mW

光束大小(D

9mm(有透镜,Si& UV)

12.7mm(无透镜,Si& UV)

3mm/5mm(无透镜,InGaAs)

分辨率

≥10µm

焦深精确度

±50µm

尺寸

100x173x415mm

机械调节

水平角度:±1.5°

垂直角度:±1.5°

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