8HEX280-六角定位器

行程

（X / Y / Z），mm

±25.0 / ±25.0 / ±15.0

（θx / θY / θz）, deg

±15.0 / ±15.0 / ±30.0

精度

（X / Y / Z），μm

按客户要求

（θx / θY / θz），μrad

±300 / ±300 / ±300

重复性

（X / Y / Z）， μm

±0.51 / ±0.12 / ±0.06

（θx / θY / θz），μrad

±1.00 / ±1.00 / ±1.00

负载能力，kg

≤30.00