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日本toray氧气表MS-500

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日本toray氧气表MS-500
血氧
仪与半导体,
液晶和电子元件的相关应用
半导体,电子元件的氧气分析仪
MS-500,LC-450A,LC-450D,LC-860

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日本toray氧气表MS-500

日本toray氧气表MS-500

日本toray氧气表MS-500

氧气表MS-500

MS-500

  • 多可以同时测量8个点
  • 可以显示从ppm级到100%的各种浓度范围。
  • 非常适合安装在半导体制造设备,真空设备等上。
  • 传感器是直接插入型(用于真空16/25/40的NW法兰)
  • 特殊涂层应用于高度耐用的传感器,以进一步提高耐用性。

MS-500设备规格

测量原理氧化锆浓缩电池供电
形状分体式(转换器:壁挂式,传感器:直接插入式)
显示方式4位数字显示(浓度显示)
测量范围0-1 / 10/100 / 1000PPM / 1/10 / 100体积%氧气2 10 -20〜10 -0大气压
自动范围
重复性在±0.5%FS 0-1%范围内或更高
±1%FS以下或≤± 
0.1ppm大于0-1ppm的0-1%范围内,atm范围超出了保证的浓度范围
测量点数1-8
样气条件压力10 -3至200 KPa(压力)
流量0.5-5,000 mL / min或0 mL / min(自然扩散状态的测量)
湿度露点低于环境温度
温度0-100℃
其他不包含腐蚀性气体(基于氟的气体,基于氯的气体,基于硫的气体等),包含有机硅的气体,可燃成分(包括气体),油和水。
比较气大气层
记录仪输出仅变速箱输出
变速箱输出RS-232C
报警输出没有
热身时间6分钟以内
尺寸MS-500(控制器)92(W)x 44(H)x 120(D)(不包括突起)
MS-510(转换器)100(W)x 40(H)x 88(D)(不包括突起)
传感器单元SD16NW全长100mm(感应部分Φ11×39,主体部分Φ40×51)
SD25NW全长100mm(感应部分Φ11×42,主体部分Φ40×48)
SD40NW全长100mm(感应部分Φ11×41,主体部分Φ40×49)
大量的MS-500(控制器)约0.6Kg
MS-510(传感器)约0.5kg
传感器单元SD16NW约0.2Kg
SD25NW约0.2Kg
SD40NW约0.35Kg
外部连接真空法兰之一(NW16、25、40)
使用电源24VDC±10%

深圳市秋山贸易有限公司

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