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日本thermal热范围TM3

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日本thermal热范围TM3

热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备,热效率是热物理特性值之一。
它是一种可以通过点,线和表面来测量样品的热性能的设备。
还可以测量微米级的热物理性质分布,这是常规热物理性质测量装置所难以做到的。
它是世界上可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
3μm的检测光斑直径可实现微小区域的高分辨率热物理性质测量(点/线/表面测量)。

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日本thermal热范围TM3

日本thermal热范围TM3

日本thermal热范围TM3

用于测量薄膜和微小区域的热发射率

热范围TM3

特征

  • 热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备,热效率是热物理特性值之一。
  • 它是一种可以通过点,线和表面来测量样品的热性能的设备。
  • 还可以测量微米级的热物理性质分布,这是常规热物理性质测量装置所难以做到的。
  • 它是世界上可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
  • 3μm的检测光斑直径可实现微小区域的高分辨率热物理性质测量(点/线/表面测量)。
  • 由于可以通过改变深度范围进行测量,因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
  • 您也可以在板上测量样品。
  • 激光非接触式测量。
  • 可以检测薄膜下的裂缝,空隙和剥离。

热物理显微镜的测量原理(概述)

在样品上形成金属薄膜,并用加热激光器定期加热。

  1. 由于金属的反射率具有随表面温度变化的性质(热电阻法),因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度的变化,来测量表面的相对温度变化。做。
  2. 热量从金属薄膜传播到样品,导致表面温度响应的相位延迟。该相位延迟取决于样品的热性质。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热效率。
热物理显微镜的测量原理(概述)

主要规格

名称/产品名称热物理特征显微镜/热显微镜
测量方式热物理性质分布测量(1D,2D,1点)
测量项目热效率,(热扩散率),(热导率)
检测光斑直径约3μm
1点测量标准时间10秒
待测薄膜厚度几百纳米到几十微米
重复精度耐热玻璃和硅的热效率小于±10%
样本1.样品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 
2.板状样品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
  • 需要对样品表面进行镜面抛光。
  • 样品表面需要进行Mo溅射。
工作温度极限24°C±1°C(根据设备中内置的温度传感器)
平台移动距离・ X轴方向20mm
・ Y轴方向20mm
・ Z轴方向10mm
激光加热半导体激光波长:808nm
激光检测半导体激光波长:658nm
电源交流100V 1.5kVA
标准配件样品架,参考样品
选项光学平台,空调,空调房,溅射设备
  • 性能和外观如有更改,恕不另行通知。

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