用于测量薄膜和微小区域的热发射率
特征
- 热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备，热效率是热物理特性值之一。
- 它是一种可以通过点，线和表面来测量样品的热性能的设备。
- 还可以测量微米级的热物理性质分布，这是常规热物理性质测量装置所难以做到的。
- 它是世界上可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
- 3μm的检测光斑直径可实现微小区域的高分辨率热物理性质测量（点/线/表面测量）。
- 由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
- 您也可以在板上测量样品。
- 激光非接触式测量。
- 可以检测薄膜下的裂缝，空隙和剥离。
热物理显微镜的测量原理（概述）
在样品上形成金属薄膜，并用加热激光器定期加热。
- 由于金属的反射率具有随表面温度变化的性质（热电阻法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度的变化，来测量表面的相对温度变化。做。
- 热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应的相位延迟。该相位延迟取决于样品的热性质。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热效率。
主要规格
| 名称/产品名称 | 热物理特征显微镜/热显微镜 |
|---|---|
| 测量方式 | 热物理性质分布测量（1D，2D，1点） |
| 测量项目 | 热效率，（热扩散率），（热导率） |
| 检测光斑直径 | 约3μm |
| 1点测量标准时间 | 10秒 |
| 待测薄膜 | 厚度几百纳米到几十微米 |
| 重复精度 | 耐热玻璃和硅的热效率小于±10％ |
| 样本 | 1.样品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 2.板状样品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
|
| 工作温度极限 | 24°C±1°C（根据设备中内置的温度传感器） |
| 平台移动距离 | ・ X轴方向20mm ・ Y轴方向20mm ・ Z轴方向10mm |
| 激光加热 | 半导体激光波长：808nm |
| 激光检测 | 半导体激光波长：658nm |
| 电源 | 交流100V 1.5kVA |
| 标准配件 | 样品架，参考样品 |
| 选项 | 光学平台，空调，空调房，溅射设备 |
- 性能和外观如有更改，恕不另行通知。
