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溅射传感器

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功能

  • 镀金铍铜传感器体和冷却管可实现冷却效果
  • 磁铁可偏转自由电子,使其远离监控器晶体
  • 利用可弯曲的水管轻松安装,灵活放置传感器
  • 后装式晶体插入便于更换晶体

规格

类型 Sputtering Sensor
无水时的烘烤温度 105°C
小水流时的工作等温环境温度 400° C
尺寸(大外壳) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
水、空气和同轴长度 Standard 30 in. (76.2 cm)
晶体交换 Rear-loading
安装 Customer supplied
安装要求  
馈入件

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

其他

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

水流速 Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
材料  
主体和支架 Au plated Be-Cu
弹簧、电气触点 Au plated Be-Cu
水管 Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
连接器 304 Stainless steel
绝缘体 99% Al2O3
电线 Teflon® insulated copper
焊料 Cadmium free silver and indium alloys
晶体 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
磁铁 ALNICO 5 Alloy
可选闸门组件 750-005-G1 规格:  
温度 130° C
1 in. 螺栓和 Ultra-Torr(压缩接头)端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
温度 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
安装 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 焊接式端接:  
材料 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
温度 Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
安装 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

零件号

Sputtering Sensor
零件号 明细
750-618-G1 溅射传感器(仅传感器,不包括馈入件)

附件

名称 说明
QCM 传感器馈入件 QCM 传感器馈入件
Sputtering Sensor
零件号 明细
750-005-G1 用于溅射传感器的气动闸门组件(仅闸门组件,不包括传感器)
750-420-G1 电磁阀,24 伏(与带闸门和多晶体传感器配合使用)

耗材

名称 说明
石英监控器晶体 石英监控器晶体

备件

Sputtering Sensor
零件号 明细
007-023 陶瓷夹持器
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 止动弹簧(用于晶体支架)
007-047 Front Cover, Sputtering Sensor
007-009 DET, MAGNET
070-0440 Z5-1 RETAINING RING,SS,PIC
070-0442 定位环(安装到闸门组件的轴上)
070-0441 Spacer, B4-4, Stainless Steel
082-044 Teflon 螺钉(用于片簧)
082-029-P1 SCREW 2-56 x .125 LG SOC SET SCR SS
750-009-P2 COVER, PIVOT FINISHED
750-046-G2 SPUTTER SHUTTER WELD ASM FIN @
750-048-P1 Retainer Spring, CrystalSix
750-115-P4 联轴器(安装到波纹管组件)
750-169-P4 用于气动闸门组件的波纹管组件
750-174-P2 母型同轴
750-175-P1 绝缘体(片簧下面)
750-188-P3 片簧
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-619-G1 Body, Sputtering Sensor
750-626-P1 Spring, Crystal 12 and Sputtering Sensor
In-vacuum cables
321-039-G12 真空电缆,15.2 厘米(6 英寸)
007-252 真空电缆,30.5 厘米(12 英寸)
321-039-G11 真空电缆,61.0 厘米(24 英寸)
007-044 真空电缆,78.1 厘米(30.75 英寸)
007-059 真空电缆,91.4 厘米(36 英寸)
007-061 真空电缆,121.9 厘米(48 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G13 真空电缆,154.2 厘米(60 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G14 真空电缆,182.9 厘米(72 英寸)- 需要 ModeLock 控制器
321-039-G15 真空电缆,3.5 米(137.8 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU
321-039-G16 真空电缆,4 米(157.5 英寸)- 需要 ModeLock 控制器和4 米 XIU

数据表

  • Sputtering Sensor Datasheet (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

手册

  • Sputtering Sensor Operating Manual (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

目录

  • Thin Film Catalog (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|
  • 薄膜目录 |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|

其他文件

  • Sputtering Sensor Shutter Installation Instructions (English) |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |한국|


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