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UL1000 Fab

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好处

  • 通过缩短抽气时间和响应时间加快泄漏检测工作
  • 通过使用可选的背景抑制(Izero),避免需要进行多次泄漏测试。
  • 通过紧凑的设计方便进入空间有限的维护区域
  • 通过耐用的两个热丝离子源(三年保修)和逆流式真空系统实现低拥有成本 (TCO)
  • 通过可旋转显示、声音和灯光泄漏提示以及可选的远程控制降低应用难度
  • 通过内置泄漏测试和自动校准程序实现低成本维护

典型应用

  • 对清洁度要求严苛的工业真空设备制造
  • 在将真空组件或子组件安装到现有工具中之前
  • 真空工具的维护工作,无论是否有泵的支持
  • 工艺气体系统的检查和安装
  • 半导体、平板显示器或太阳能电池制造

规格

类型 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气(真空模式)低可检漏率 mbar•L/s

< 5="" •="">-12

氦气(吸式)低可检漏率 mbar•L/s

< 5·10-8

GROSS 模式大进气口压力 mbar 15
FINE 模式大进气口压力 mbar 2
ULTRA 模式大进气口压力 mbar 0.4
抽真空期间的抽气能力 m³/h 25 at 50 Hz
ULTRA 模式氦气抽气能力 L/s 2.5
可检测质量数 2,3,4 amu
质谱仪扇形场 180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层 2
内置校准漏孔 mbar•L/s

∼ 10-7

测试端口 DN 25 KF 1
可调触发器

2

接口 RS 232
图形记录器输出 V 2 x10
输入/输出 PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中) °C +10 to +40
重量 110
尺寸(长x宽x高) 1050 x 472 x 987
电源电压 (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
电源电压 (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
功耗 (typ.) VA 1100
功耗 (typ.) VA 1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细
550-100A ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号 明细
14005 SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
14022 RC1000 extension cable, 8 m
551-000 Toolbox, detachable,for UL1000
551-001 Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002 ESD Mat for UL1000/5000
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015 遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-020 RC1000WL 用无线发射机

数据表

手册

手册

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