Leitz Reference Xi – “Xi” 代表着系统具备充分的“灵活性”。 将Leitz高性能的扫描技术应用于新型Leitz Reference Xi，提供了丰富的测量选择：从连接自动旋转测座的HP-S-X1扫描探测系统，到配备固定式扫描探测系统HP-S-X3C 一直到HP-S-X5 HD，能够在配备加长探针的情况下保持高精度。 在各种配置下提供一如既往的高精度 - 无论是分度还是固定式探测系统。通过配备支持多测头的控制器，Leitz Reference Xi系列测量机还能够配备激光扫描测头、接触式粗糙度测头，实现微观尺寸评定。这些不同形式的测头传感器可以通过SENMATION多测头平台整合在一台Reference Xi 上随时取用，实现在各种环境下的高精度、全自动、复合式灵活测量。