GT130D 气体质量流量控制器

GT130D气体质量流量控制器（Mass Flow Controller 缩写为MFC） 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

GT130D气体质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC) 用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气象色谱仪以及其他分析仪器。

技术特点

• 微处理器控制

内部采用可编程未处理器控制，使用PID控制，可实现不同工况条件下进行高速精确的流量控制。

• 紧凑的外形尺寸

尺寸非常小巧紧凑，用户使用时，不但能够减小系统体积和重量，同时能够集成更多的功能模块。

• 多气体多量程选择

内部设置了多种气体模式（H2、N2、Air、He等），用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。同时，本公司提供择不同量程MFC产品，用户可根据需求进行选。

• RS-484总线接口

内置RS-485总线接口，可选择使用RS-485控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网，实现多台MFC同时控制。

• 可独立运行

上电后即可使用，用户可通过按键直接对MFC进行操作，无需连接其他外部电路、PC、PLC等设备。

• 便捷标定方法

GT130D气体质量流量控制器可通过标定软件对MFC进行标定，只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。

技术指标