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小流量气体流量计

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小流量气体流量计内部采用可编程未处理器控制,使用PID控制,可实现不同工况条件下进行高速的流量控制,此外,流量计内置RS-485总线接口,可选择使用RS-485串口控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网,实现多台MFC同时控制。

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小流量气体流量计

项目

 

 

参数信息

 

 

大量程

 

 

50sccm-500sccm(可定制)

 

 

精度

 

 

±1%F.S.

 

 

气体类型

 

 

H2/He/N2/Air/Ar(可定制))

 

 

响应时间

 

 

1s

 

 

压差范围

 

 

<1MPa

 

 

工作温度

 

 

0~50℃

 

 

工作湿度

 

 

0~95%R.H.(非冷凝)

 

 

工作电压

 

 

24V±10%/12V±10%

 

 

信号接口

 

 

RS-485(Modbus)

 

 

气路材质

 

 

不锈钢/铝合金/铝合金惰性涂层

 

 

气路接口

 

 

1/16

 

 

尺寸

 

 

55×46×22mm

 


小流量气体流量计产品优势:

1、微处理器控制:内部采用可编程未处理器控制,使用PID控制,可实现不同工况条件下进行高速的流量控制。

2、标定方法:执行JJG 1132-2017国家标准,所有产品均采用特定高纯气体标定,确保产品的精度。

可通过标定软件对气体质量流量控制器进行标定,只需将MFC通过RS-485总线与PC连接即可进行标定。

3、RS-484总线接口:内置RS-485总线接口,可选择使用RS-485串口控制或按键控制两种模式。可通过RS-485总线组网,实现多台MFC同时控制。

4、多气体多量程选择:内部设置了多种气体模式(H2、N2、Air、Ar、He等),用户可根据用户手册及使用需求进行操作选择。

同时,本公司提供择不同量程MFC产品,用户可根据需求进行选。

5、紧凑的外形尺寸:尺寸非常小巧紧凑,用户使用时,不但能够减小系统体积和重量,同时能够集成更多的功能模块。

天津吉思特仪器仪表有限公司

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