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北京哈科半导体测量显微镜

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北京哈科半导体测量显微镜产品简介:该光学自动化检测设备主要用于LCD、PDP、PCB等相关的光电产业,为其研发、制造提供所需的检测设备。具有观察OLB压接粒子分布、液晶板表面贴附的异物、液晶板划伤情况、测量导电粒子大小、数量等功能。

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 北京哈科半导体测量显微镜产品特点;   测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

 

1. Z轴光栅尺分辨力为0.1μm

2. X、Y轴采用空气轴承、花岗石导向,保证了机械系统的精确稳定,提高了测量精度

3. X、Y、Z三轴伺服控制,定位精度高、速度快,运行平稳

4. 同轴光/底光测量

5. 内置偏光测量光学模块

6. 自主开发QMS3D-M软件,高清晰进口1/2"彩色摄像机

7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置,可适应复杂工件的测量

8. 可实现Z轴自动对焦

9. 具有偏光和DIC检测功能

10. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度

 

北京哈科半导体测量显微镜产品规格参数:

型号

JTM-6065C

JTM-6090C

 

工作台

玻璃台尺寸(mm)

690*770

640*1070

XY运动行程(mm)

600*650

600*900

Z向行程(mm)

200

200

外形尺寸(mm)

1500*1350*1510

1800*1350*1510

仪器重量(kg)

1300

1550

XYZ向分辨力(um)

0.1

XY示值误差(um)

E1XY=(2.5+L/200)

物镜放大倍率误差

包括畸变在内的放大率误差:≦0.08%

落射照明光源

可调高亮度LED灯源

底光照明光源

可调条型光源

电源

AC   100V-240V  50/60Hz

气源压力

0.5MPa

空气流量

120L/min(0.4   MPa)

温度范围

20±2℃<1/h  2/24h 1/m

湿度

55%~65%

 

目视系统

影像系统

物镜放大倍数

5X10X20X50X

目镜放大倍数

10X双镜筒

1/2”CCD摄像机

 

总放大倍数

 

50X~500X

140X~1400

(17”显示嚣,分辨率1024*768)

     

 


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