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Eucentric Sample Holder 飞纳台式扫描电镜优中心样品杯

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在许多电镜应用中,如果样品可以倾斜、旋转,用户就可以得到更丰富的形貌特征。飞纳台式扫描电镜优中心样品杯就是基于这一目的来研发的,样品杯包含了一个子样品台,使用户可以轻松、安全地从各个角度观察样品。样品可以根据需要被升降,倾斜,旋转和平移,同时又不会丢失细节视野。

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*的样品台设计概念

飞纳台式扫描电镜优中心样品杯采用*的设计,它包含了一个可以实现优中心倾斜和优中心旋转的子样品台。因为该样品台可以*整合到一个常规的飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 样品杯中,从而可以在 1 分钟内实现装卸样品。而且,它也不需要繁琐、昂贵的升级。样品台的性能同样十分优越:样品可以倾斜到 90° 角,之后仍然能够进行平移。优中心样品杯本身就具有 4 个马达轴,再结合主样品 台的两个马达轴,用户可以轻松实现样品的升降,倾斜,旋转和平移。
 

操作方式同样*一格。优中心样品杯由一个全新的界面控制,以实时、可视的 3D 模型展现出来。这一模型能够始终展示样品的真实位置和朝向。在可视化模型中,导航相机(飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 标配)可以拍摄样品的原始图片,所以样品本身也是可视化的。终,无论是在腔室内甚至是腔室外,用户都可以灵活自主地选择观察位置。
 

除了 3D 可视化模型,用户界面还内置集成有防撞逻辑算法, 可以实现样品台移动过程中无任何担忧,确保了样品和电镜的安 全,从而也就不再需要传统的光学相机和接触探测器了。
 

操作界面可以帮助用户轻松地移动样品。放入样品后,借助界面内旋钮,可以快速寻找到样品的优中心高度。一旦高度合适,无需在 SEM 界面设置大量参数,即可轻松实现样品的倾斜、平移和旋转。
 

有大量的应用案例表明样品的倾斜和旋转意义重大。倾斜或旋转后,可以从不同角度来观察样品。这一点在许多案例中十分有用,比如测量样品的深度、高度和厚度特征,检查镀层之间或零件之间的连接情况。在能谱元素分析中,倾斜功能也同样十分有用。不平整样品可以通过倾斜,使被分析面变得水平,从而提高能谱元素分析的准确度。
 

可视化的 3D 模型能够实时观察样品及其位置
 

倾斜样品在飞纳电镜大样品室版 Phenom XL 中的操作界面视图。所有保存图片的元数据包含相关倾斜和旋转角度
 

样品倾斜

当样品倾斜后,目标区域和焦距都发生了变化(见上图),结果用户看到的是样品的另一个区域,再者聚焦情况也发生了变化,导致图像模糊。利用优中心样品杯,样品优先移动(在高 度和 XY 平面)来保持与机械倾斜轴*,这就是所谓的 “ 优中心位置 ” 。当用户倾斜样品时,观察样品的区域和位置都不 发生改变。
 

飞纳台式扫描电镜优中心样品杯允许样品倾斜 90°角,倾斜过程中用户无需在电镜设置界面改变大量参数。
 

样品旋转

当样品发生旋转时,目标观察区域往往也会随之移动,用户需要去调节 (X,Y) 位置来重新找回观察区域。

优中心样品杯可以使用户在目标观察区域旋转样品,而且同样适用于旋转轴与观察区域不*的情况,这就是 “ 优中心旋转 ” 。优中心样品杯自动运用多马达轴来保持 (X,Y) 位置不变,甚至当样品发生倾斜时,也能确保如此。

复纳科学仪器(上海)有限公司

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