X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD

X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD：采用新开发的双模式分析器，从数秒至数十秒的时间内得到数µm以下的高分辨元素象、化学状态象，是真正的成象XPS。

X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD特点
 空间分辨率小于3μ_m
• 可集成多种分析技术
• 延迟线探测器（DLD）系统
• 平行成像和微区谱图

X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD技术参数

●图像分辨率（边缘分辨率） 2μm左右
●XPS灵敏度 大面积 11，800kcps / 110μmΦ 1，800kcps
27μmΦ 100kcps / （Ag3d5/2、450W）
●zui小分析直径（收谱分析） <15μmΦ