采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。
共焦显微镜头 标准规格配置50x/0.8物镜 带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器 | |
光源 | LED |
寿命 h | > 50,000 |
采用步进电机时的测量范围mm | 50 |
采用压电执行器件时的测量范围µm | 100/150 |
zui高垂直分辨率 nm | 5 |
zui高横向分辨率µm | 1 |
工作距离mm | 0.66 |
视场µm | 370 x 280 |
256个高度台阶的测量时间s | 约 30 |
重量kg | 约12 |
测量工作台 | |
X、Y、Z每轴位移mm | 50 |
zui小步距µm | 1 |
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