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德国BMT WLI白光干涉仪

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采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。

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采用ACM 600 共焦显微镜可对物体的表面和结构进行非接触式的测量,评估和显示。装配不同的显微物镜,测量视场大小和精度也不同。视场的扩展可通过钉合的方式来实现。 
ACM 600 使用特殊的微透镜扫描盘,使采集的单个测量点相互平行。ACM 600目前是*商业化的采用微透镜扫描盘的仪器。与尼普科夫扫描盘相比,微透镜扫描盘使光学系统反应快速,所以即使暗淡的表面也能够获得良好的测量结果。它的另外的*之处在于采用了LED作为光源,避免了使测量头发热,因而它的寿命几乎可以视为无限长。仪器配备了物镜切换盘,可以快速转换物镜。
检测物件的设定和测量全过程可以通过一个独立的监视器观察。测量软件基于Windows XP操作系统编制,并提供所有标准的评估程序。 
仪器结构紧凑,耐用,特别适用于工业用途。在微透镜扫描盘自动伸出后,仪器可作为普通的显微物镜使用。
主要用途:
 粗糙和光滑表面的测量和显示
 亚微米范围内的微观形貌测量
 金相测量
 非接触式表面轮廓的计量

主要特点
  0,1mm2到0,7mm2视场
 采用钉合方式扩大视场
  配置物镜切换盘
 确定垂直分辨率来设定测量时间
  横向分辨率可达1祄,垂直分辨率zui高可到5 nm 
 具有采用微透镜扫描盘的快速光学系统
  全自动数据评估
 实验室和在线两用设计

主要优点:
 高保真轮廓复现,对物体三维结构快速,非接触式的定性和量化
 测量结果与材料表面性能无关
 根据用户需求配置系统和软件
 无人干预全自动测量过程
 将微透镜扫描盘自动伸出后可作为普通的显微物镜使用
 采用压电驱动或步进电机进行垂直扫描

软件:
  Windows XP 操作系统
 测量和评估软件包括下列功能:  水平调整,图像缩放, 轮廓线的提取,毛刺的剔除,过滤,  数学计算,FFT,ACF,2D/3D 粗糙度参数,面积的测定, 斜度和波度的分布状态及其它。 
 用户特定要求的计算方法
 
技术数据:


共焦显微镜头
标准规格配置50x/0.8物镜
带有微透镜扫描盘的扫描共焦传感器
光源
LED
寿命 h
> 50,000
采用步进电机时的测量范围mm
50
采用压电执行器件时的测量范围µm
100/150
zui高垂直分辨率 nm
5
zui高横向分辨率µm
1
工作距离mm
0.66
视场µm
370 x 280
256个高度台阶的测量时间s
约 30
重量kg
约12  
测量工作台 
 
X、Y、Z每轴位移mm
50
zui小步距µm 
1

 


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