XD Laser激光干涉仪可测六个误差

XD Laser激光干涉仪可测六个误差
5D/6D激光干涉仪是API产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成

XD Laser激光干涉仪的组成：

      XD Laser 激光干涉仪是在LMS激光干涉仪的基础上进行了改进。将控制箱集成到激光头里，将原先的有线数据传输改为全程无线数据传输。因此、XD Laser激光干涉仪是由激光头、传感器、气象站、笔记本电脑和连接整个系统的电缆组成。

XD Laser激光干涉仪技术综述:

    ●1D激光主要可以测量定位误差
    ●3D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）
    ●5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差（双向）、偏摆角、俯仰角和滚动角

直线度测量— API XD的方法
应用先进的PSD技术：光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)
不怕断光，可用于导轨的安装调试(类似于自准直仪)
对直线度进行1:1的测量
可一次性安装, 与线性误差一起测量, 方便, 快速
垂直度测量— API XD的方法
API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速
在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错。
偏摆角/俯仰角测量 — API XD的方法:
先进的PSD技术来测量小角度: 当入射光经分光镜射到凸透镜上后，如果轴无角度变化，则光线经透镜聚在焦点上；如果轴有角度变化，则光线会在焦平面上的PSD光靶上得到两个方向的坐标值，从而与焦距比较得出角度值。
测量角度过程中不怕断光, 可用于导轨的安装调试
不受滚动角的影响，调整光路容易 

XD Laser：5D/6D激光干涉仪是API产品，一次安装能够同时测量线性轴的六个误差，包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。在通常情况下需要数天时间进行的测试，使用API激光干涉仪只需几个小时即可完成，实际应用结果表明，节省时间可达80%。该仪器体积小，重量轻，可以直接安装到机床导轨上。6D激光干涉仪主要由稳频激光器、干涉仪和6维传感器组成，从激光器发出的激光光束经过干涉后，被6D传感器内的分光镜分成三束，一束光经锥角反射棱镜反向后返回干涉仪与参考光束相干产生干涉条纹，经光学相位探测器识别后进行电子记数，记录精确长度位移。第二束光用作直线度测量的参考光束，传感器与参考光束之间的相对位移由装在传感器内的横向疚光电二级管测得。第三束光用作装在6D传感器内的小型光电测角仪的参考光源，用来测量角度误差（俯仰角和偏摆角）。为了保证激光光束的稳定性，测量仪在结构的设计以及激光器的选择方面都做了仔细周密的考虑，以使测量仪的横向和角度漂移量都降低到小，从而保证测量仪的长期稳定性。测量仪配有自动气压、环境温度补偿器，自动校正环境变化对激光波长及长度测量的影响，测量仪还配有专门设计的多重数字滤波器，使由空气波动及温度梯度引起的测量误差降到小。