日本精工电子X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110
 

　　日本精工电子纳米科技有限公司的新机型[SFT-110],客户的认可度非常高，秉承了精工膜厚仪一贯的高精度，高稳定性，更合理的设计，迎合客户需求。市面上的主要竞争对手也在研发新机型竞争。

　　通过自动定位功能，可简单迅速地测量镀层厚度。

　　日本精工电子有限公司的子公司精工电子纳米科技有限公司推出配备自动定位功能的[X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110]，使操作性进一步提高。

　　对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及品质，降低成本。精工从1971年推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。

　　为了适应日益提高的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。

　　近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。

　　精工今后还会通过X射线技术产品的开发，更多地支持制造业的品质管理及环境管制对应。

［SFT-110的主要特征］ 
1. 通过自动定位功能提高操作性 
测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。 
2. 微区膜厚测量精度提高 
通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。 
3. 多达5层的多镀层测量 
使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。 
4. 广域观察系统（选配） 
可从zui大250×200mm的样品整体图像测量位置。 
5. 对应大型印刷线路板（选配） 
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。 
6. 低价位 
与以往机型相比，既提高了功能性又降低20%以上的价格。

［主要产品规格］ 
检测器： 比例计数管 
X射线源： 空冷式小型X射线管 
准直器： A类，B类，zui小可到0.025mm
样品观察： CCD摄像头 
样品台移动量：250（X）×200（Y）mm 
样品zui大高度：150mm，开槽可达170mm