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322次2XZ型旋片式真空泵系双维高速直联结构旋片式真空泵（以下简称泵）。它有偏心地装 在泵身腔内的子、及转子内的旋片。转子带动旋片旋转时，旋片借离心力和旋片弹簧弹力紧 贴腔壁，把进、排气口分隔开来，并使进气腔容积周期性地扩大而吸气、排气控容积则周期 性地缩小而压缩气体，代借压缩气体压力和油推开排气阀排气，从而获得真空。图一为单级 泵的工作原理示意图。双级是两个单级串联而成。 |
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