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扫描电镜的发展历史

阅读：743 发布时间：2019-7-30

　　20 世纪的人们在dian话亭中言语的画面还历历在目，转眼到了 21 世纪，我们就已经用上了手机，不仅体积小巧，信号质量更好，而且功能愈加丰富。那么在这几十年的时间里，扫描电镜有没有变得更小巧、分辨率更好呢？

　　答案当然是肯定的。首先，我们来简单回顾一下扫描电镜的发展历史：

　　1953 年

　　英国剑桥大学的麦哲马伦等人研制成功第yi台实用型扫描电镜，分辨率达到 50 nm

　　1965 年

　　英国剑桥科学仪器公司研制成功第yi台商用扫描电镜 Mark I，其分辨率为 10 nm，从此揭开了扫描电镜研发、制造和应用的开端

　　1975 年

　　美国将微型计算机引入到扫描电镜中，用于程序协调控制加速电压，放大倍数和磁透镜焦距的关系，二次电子图像分辨率可达 6 nm

　　2005 年

　　美国发布第yi台具有超高分辨率的带有低真空的场发射电镜，其分辨率为 1.0 nm

　　2010 年

　　冷场扫描电镜的上市将分辨率提升到了 0.4 nm

　　由此脉络可以清晰地看处，随着科技的发展，扫描电镜的分辨率在逐渐降低并趋近于电子束波长(0.01-0.001 nm)，其好处不言而喻——能够通过电镜看清楚更微小的物体，探索更微观的世界。