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EXTORR四极质谱分析仪说明书
最近更新时间：2014-11-5
提 供 商：深圳市科锐诗汀科技有限公司资料大小：1.2MB
文件类型：PDF 文件下载次数：240次
资料类型：浏览次数：352次
详细介绍：
特点及应用：
•操作简单
•可靠，方便
•在线原位分析真空环境及工艺气体
•定性或定量分析监测溅射镀膜反应工艺过程中真空室内的气体分压强
•优化工艺过程参数，提高镀膜产品质量
•对真空系统检漏