原子力显微镜 XN-10技术参数: XY扫描器 柔性制导闭环控制单模块扫描器 扫描范围50μm×50μm(可选100μm×100μm) 分辨率:0.05nm 定位检测噪音:<0.3nm(带宽:1kHz) 平面偏移度:<1nm(超过40μm扫描) 原子力显微镜 XN-10主要特点: 一、计量精确 XE系列AFM*消除了球面误差,因而具备了实现精确纳米计量的能力。 二、扫描器线形度高,直角正交 XE系列AFM采用了柔性扫描器zui大限度减小了X和Y扫描运动的交叉耦合,并且通过位移传感器及时进行反馈控制,这就有效保证了扫描的准确度和精度。 三、非接触式扫描 可真正实现非接触式扫描是Park AFMzui显著的技术优势。采用这一模式扫描时,针尖和样品间距可以保持在几个纳米,在避免针尖磨损的同时提高了成像质量。 四、CrN样品测试结果 CrN样品具有点状尖锐的特点,是常用的AFM探针性能测试样品。如采用轻敲模式进行扫描,10次后图像质量就因针尖磨损而明显下降。在非接触扫描实验中,扫描100次后图像细节依然清晰,证明针尖没有受到损伤。 |