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测量显微镜是光学计量仪器之一种,是指配有瞄准显微镜和坐标工作台的用于二维坐标尺寸测量的光学计量仪器。测量显微镜采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。特别适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其
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