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机械研磨仪载具膜预防保养方法包括下列步骤:
(a)一化学机械研磨机上,其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上一研磨具,其该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装导环以及一载具膜,用激光预先加工所述载具膜上与该抽气孔对应数个孔洞;
(b)当该化学机械研磨仪需预防保养时,将该研磨载具从该研磨主轴上拆下;
(c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具膜后,对该研磨载具进行清洁处理;
(d)研磨仪将新载具膜与对孔板对准,其该对孔板上具有与该抽气孔对应数个*销孔,且每一*销孔上设有一固定销,当该载具膜与该对孔板对准时,每一固定销穿过该孔洞;
(e)将该载具膜与该对孔板一起放置该研磨载具上,使每一固定销依序穿过对应孔洞、抽气孔;
(f)将该载具膜粘贴该研磨载具上,且移去该对孔板;以及
(g)将该导环安装至该研磨载具后,将该研磨仪载具安装至该研磨主轴上。
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