美国AII GPR-1600UHP ppb超微量氧分析仪在半导体电子工业高纯气体中的应用

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微量氧分析仪，电子，半导体，氧含量

在半导体等电子工业中，如成电路芯片厂中所使用的气体按用量的大小可分为二种，用量较大的称为大宗气体（Bulk gas），用量较小的称为特种气体（Specialty gas）。大宗气体有：氮气、氧气、氢气、氩气和氦气。其中氮气在整个工厂中用量zui大，依据不同的质量需求，又分为普通氮气和工艺氮气为每一步生产工艺提供所需求的载气以及电子特种气体的质量保障，美国AII氧分析仪</a>公司的微量氧分析仪常常被用于半导体气体中的微量氧含量检测。

一般来说在电子级气体中的微量水和微量氧含量等杂质的要求一般要小于5000-10000ppb,正因为对于气体如此高的纯度要求，为了保障气体的纯度，美国AII氧分析仪的GPR-1600UHP痕量氧分析仪（超微量氧分析仪）得到了广泛的使用和认可。

超微量氧分析仪技术参数：

GPR-1600UHP PPB级氧分析仪是一款在线进行分析,应用：对惰性气体，He，H2，混合气体及CO2中的氧含量进行100ppb至1%微量分析

PPb氧分析仪技术参数

精度：恒定条件下&lt;1%满量程

范围：0-100ppb，0-1、10、100ppmFS；自动切换或手动

可调应用：对高纯惰性气体，碳氢气体，He，H2中的氧含量进行0.5ppb-100ppm分析

认证：CE

区域等级：普通用途报警：2路继电器报警输出

标定：使用浓度大约为80%量程或更高的经过认证的标准

气体补偿：压力及温度补偿，可选温控系统

接口：进样及标定口为1/4VCR接头，出品为1/4 压紧管接口

控制：量程选择开关，防水键，标定,报警及系统功能

数据采集：可选数据点显示：5＂2.75＂；

分辨率：0.5ppb；实时显示温度及压力安装

尺寸：铝材13.9＂9.9＂13.4＂

流量影响：0.5-1.5 L/M,推荐流量:1 L/M 线性：.995*量程

压力：进样20-50 psig；zui大150 psig；排空-不超过5水柱的大气压

电源：220VAC

适用范围：

石油化工、电子电力等行业中高纯氧的分析；

空分高纯氧监测；

冶炼行业；

医疗卫生行业；

微电子、半导体、航天及军工等领域；

制氢／制氮／C02设备，净化／干燥设备等；

产品特点：

1）稳定的O2分析

Adv公司的GPR-1600UHP级氧气变送器/分析仪标志着氧气分析达到了新的水平。创新设计的传感器结构及外壳、模块化设计的电子器件部分以及*的燃料电池（电化学）传感器技术，给予使用者zui低的花费，zui高的收益。

2）两线制电源4~20mA回路模拟输出

GPR-1600UHP提供了一个通过两线制9~36V供电回路的4~20mA信号输出及两个可调节的变送器报警输出连接。4~20mA输出可使得外部设备重现满量程的氧气含量读数。

3）通用长寿命传感器，全量程线形化可进行空气/量程气校准

变送器/分析仪的心脏部分是一个*的燃料电池式电化学传感器，并以及线形化和设定。优异的传感器使用性能和质量，应用的正常使用寿命为24个月。

4）LCD显示

为了使变送器/分析仪的校准、现场氧含量读取更为方便，样气中氧O2的浓度读取是由一个三位半的LCD显示器显示的。