GSL-1700X-SPC-2 小型程序控温蒸发镀膜仪

结构&特点

• 真空腔体为直径6英寸的石英腔体，易清洁和放入样品
• 安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜达到更好的均匀性
• 采用钨丝篮作为发热源，zui高温度可达到1700℃，并且配用氧化铝舟，可装入样品（仅1600℃以下使用，若蒸发温度大于1600℃，样品应直接放在钨丝篮中）
• 精确控温：可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1℃

电源

• 电压:  AC 208 - 220V 50/60Hz , 单相, 50/60Hz
• zui大功率为：500W zui大电流为30A

温控及加热源

• 采用钨丝篮作为发热源，并且配有的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制（如图1
• 标准采用S型热偶：工作温度为200℃-1500℃
• 可选B型热电偶：工作温度为1200℃-1700℃
• 安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（如图2）
• 也可将仪器转换到手动调节接状态，内部不安装热电偶，直接采用手动调节输出电流大小，发热源温度可高达2000℃，可达到对样品镀碳等实验（如图3）
• 仪器中配有2个钨丝篮（如图4）

样品台

• 仪器顶部安装有样品台，直径为Φ50mm
• 样品台可旋转，转速为：5rpm
• 样品台和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：60mm-100mm

真空计（可选）

• 可选购一数显防腐真空计PCG554,测量范围为：3.8x10^-5-1125Torr

进气口

• 进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜
• 进气口安装有一针阀，用于调节进气流量

真空系统（选配）

• 设备上有一KF25接口用于连接真空泵
• zui高真空度可达4.0E-6 Torr（采用涡旋分子泵）
• 双极旋片真空泵或干泵，可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr
• 真空度达到10^-2torr时，可蒸发一些贵金属，如金和铂，也可蒸发一些有机材料，可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10^-5 to 1125 Torr.)
• 高真空度可达4.0E-6 Torr（采用涡旋分子泵），此时可蒸发对氧敏感的材料，如Al. Mg, Li，分子泵上带有复合真空计（zui高可测量真空度为1.0E-7Torr）
• 可在本公司选购各种真空泵和真空计

进气接口

• 一Φ6.35卡套接头，用于向腔体中通入气体
• 一个调节阀安装在仪器上，用于调节进气流量

耗材

• 标配中有5个氧化铝坩埚和2个钨丝篮
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外形尺寸

• 440mm*330mm*520mm

质量认证

• CE认证
• 一年质保期终身维护

注意事项

• 为了获得高真空度，可采用以下做法
  （1）使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕，并用酒精擦洗
  （2）抽真空时，用外部加热装置将腔体烘烤到200℃，氧化铝坩埚预加热到500℃，保持2小时
• 此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作，用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料，比如金属Li等。（可在本公司选购开启式手套箱VGB-6）
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• 使用温度高于1300℃时，保温时间不可大于1小时，否则会损坏密封圈
• 当腔体的各阀门关闭时，请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热
• 当仪器正在蒸发材料时，不可打开泄气阀或关闭真空泵，只有当加热温度降至100℃时，才可放气或关闭真空泵