详细信息测量范围:200mm×100mm分辨率:0.0002mm准确度:(1+L/100)μm(其中L为被测长度
物镜
顶针架
夹持直径:φ100 mm
夹持长度:700mm
高顶针架
夹持直径:φ250 mm
夹持长度: 200mm
数显分度头
角度测量范围:0°~360°
角度测量分辨率:5″
角度测量准确度:30″
CCD 摄像头
1/3英寸彩色(或黑白)CCD
像素数:795×596
光学定位器
探测孔径: φ5mm
探测深度:15mm
测量力:0.1N
定位稳定性: 0.001mm
测头直径的检定极限误差:0.0005mm
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