轮廓测量仪SJ5760-200

X轴1、测量范围：0～200mm

X轴
1、测量范围：0～200mm；
2、示值误差：±(1.2+2L/100)μm，其中L为水平测量长度，单位：mm；
3、分辨率：0.01μm；
4、直线度：2μm/200mm
5、测量速度：0.1～5mm/s；
6、移动速度：0～80mm/s；
Z轴
1、测量范围：0～450mm；
2、移动速度：0～30mm/s；
3、Z0轴
1、测量范围：±25mm；
2、示值误差：±(2+|2H|/40)μm，其中H为垂直测量高度，单位：mm；
3、分辨率：0.01μm；
4、测量力：10～150mN；
5、爬坡能力：上坡77o，下坡83o；
6、仪器尺寸（长×宽×高）：800×450×1000（mm）；