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LFT系列双温区真空滑轨管式炉 （含预热炉）设备描述
双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、 2部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；PLC控制5路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD（化学气象沉积系统）常用于表面材料生长、沉积，是一款实验室常用设备。
LFT系列双温区真空滑轨管式炉 （含预热炉）
技术参数
LFT系列双温区真空滑轨管式炉 （含预热炉）LFT1200C-II 200D50 | 炉体结构 | 该设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃ · 炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。 |
炉管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
功率 | 5kW | |
输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
加热元件 | Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） | |
温度 | 温度：1200℃ 额定温度：1100℃ | |
升温速率 | ≦10℃/min（推荐） | |
加热区长度度 | · 两个加热区的长度都是200mm · 分别由独立的温控系统控制 | |
恒温区长 | · 100+100mm（±1℃） · 可获得较长恒温区间 | |
控温精度 | · ±1℃ | |
快速连接法兰 | · Φ50快结式不锈钢真空法兰 · 打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便 | |
预热炉 | 功率 | · 1kw |
加热区 | · 100mm | |
温度 | · 1200℃ | |
工作温度 | · 200-800℃（可根据实际工艺需求调整） |
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