1050 离子减薄仪

离子减薄仪*设计的实时聚焦系统，会根据加速电压的不同，自动调整聚焦磁场强度，聚焦离子束。（与永磁铁的固定磁场不同）确保在低电压时，也具有超高的能量密度

离子减薄仪技术参数：

两个离子源电压100eV~6.0KV连续可调
 

束流密度高至10 mA/cm²，连续可调
 

减薄入射角-10^o ~+ 10^o
 

样品台旋转0^o ~ 360^o
 

涡轮分子泵
 

无油隔膜泵
 

真空测定用皮拉尼真空计
 

*设计的实时聚焦系统，会根据加速电压的不同，自动调整聚焦磁场强度，聚焦离子束。（与永磁铁的固定磁场不同）确保在低电压时，也具有超高的能量密度
 

的样品夹技术，可以确保在零角度时的减薄时也没有污染。