Alpha-Step IQ 台阶仪

KLA Tencor是世界上zui*的微电子和半导体领域设备供应商。 Alpha-Step IQ是其第八代台阶仪。主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。

Alpha-Step IQ是*的探针台阶仪，集高测量精度、多功能性和经济性于一体。是生产线及材料分析等应用的理想选择。由于其具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。是目前商业化仪器里（经过市场考验）zui高精度的台阶仪。是成熟的产品。

Alpha-Step IQ采用天然金刚石（Diamond）作为探头，经久耐用。探针更换简便、快速。

主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。软件具有保护测针以免发生损坏功能：
★无论何时只要测针下伸的时间超过 60 秒，但仍然没有开始扫描，测针将自动升起。
★当测针达到其测量范围的上*，测针自动缩回，扫描终止。（备注：当测针达到其上*，屏幕上的迹线停止上升，而变为水平。）
★为了安全起见，可以用程序设置升降器，使其仅可以降低到一个预设的限制。

Alpha-Step IQ探针扫描是双方向的，即可以从左向右，又可以从右向左。

Alpha-Step IQ为可为用户提供中文操作界面，可以提供*（official）中文操作手册。

Alpha-Step IQ的软件友好，功能强大。

可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度；
可分析表面粗糙度
具有7.5Å (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率