KOSAK ET200台阶仪

KOSAK ET200台阶仪主要是触针形状不同，ET(俗称Alpha-step)是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。

主要是触针形状不同，ET（俗称Alpha-step）是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。