LIBS在金薄膜加工微检测中的应用
- 关 键 词
- LIBS,薄膜材料,激光诱导等离子体
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- 2016年10月21日 15:21
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- 海洋光学亚洲公司
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资料简介
摘要：薄膜材料微加工是微纳技术、微机电系统、光电子领域的核心技术。文章提出了针对薄膜加工时缺乏有效的质量控制手段，应用激光诱导等离子体(LIBS)技术进行过程表征的方法。
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